| 发明名称 |
ETCHING METHOD AND ETCHING DEVICE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH10280173(A) |
申请公布日期 |
1998.10.20 |
| 申请号 |
JP19980006493 |
申请日期 |
1998.01.16 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
OKUNI MITSUHIRO;KUBOTA MASABUMI |
| 分类号 |
C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):C23F4/00;H01L21/306 |
主分类号 |
C23F4/00 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
