| 发明名称 |
HEAT TREATMENT OF QUARTZ GLASS AND HEAT TREATING APPARATUS THEREFOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH10279322(A) |
申请公布日期 |
1998.10.20 |
| 申请号 |
JP19970085424 |
申请日期 |
1997.04.03 |
| 申请人 |
NIKON CORP |
发明人 |
JINBO HIROKI;FUJIWARA MASASHI |
| 分类号 |
G03F7/20;C03B19/14;C03B20/00;C03B32/00;G02B1/02;H01L21/027;(IPC1-7):C03B20/00 |
主分类号 |
G03F7/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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