发明名称 |
DEVICE FOR CLAMPING SINGLE CRYSTAL AND METHOD FOR GROWING THE CLAMPING PART OF SINGLE CRYSTAL |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH10279388(A) |
申请公布日期 |
1998.10.20 |
申请号 |
JP19970099567 |
申请日期 |
1997.04.03 |
申请人 |
KOMATSU ELECTRON METALS CO LTD |
发明人 |
INAGAKI HIROSHI;KUROSAKA SHOEI;KAWASHIMA SHIGEKI |
分类号 |
C30B15/32;C30B29/06;(IPC1-7):C30B15/32 |
主分类号 |
C30B15/32 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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