发明名称 DEVICE FOR CLAMPING SINGLE CRYSTAL AND METHOD FOR GROWING THE CLAMPING PART OF SINGLE CRYSTAL
摘要
申请公布号 JPH10279388(A) 申请公布日期 1998.10.20
申请号 JP19970099567 申请日期 1997.04.03
申请人 KOMATSU ELECTRON METALS CO LTD 发明人 INAGAKI HIROSHI;KUROSAKA SHOEI;KAWASHIMA SHIGEKI
分类号 C30B15/32;C30B29/06;(IPC1-7):C30B15/32 主分类号 C30B15/32
代理机构 代理人
主权项
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