| 发明名称 |
CUTTING SYSTEM AND CUTTING METHOD FOR SEMI-CONDUCTOR INGOT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH10278039(A) |
申请公布日期 |
1998.10.20 |
| 申请号 |
JP19980103072 |
申请日期 |
1998.04.14 |
| 申请人 |
TOKYO SEIMITSU CO LTD |
发明人 |
SHIBAOKA SHINJI;TSUCHISHIMA JIRO;NAGATSUKA MASASHI |
| 分类号 |
B28D5/04;H01L21/304;(IPC1-7):B28D5/04 |
主分类号 |
B28D5/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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