发明名称 Procédé de polissage de cristaux semi-conducteurs
摘要
申请公布号 FR1479142(A) 申请公布日期 1967.04.28
申请号 FR19660061036 申请日期 1966.05.10
申请人 DOW CORNING CORPORATION 发明人
分类号 C23F3/06;H01L21/00;H01L21/306 主分类号 C23F3/06
代理机构 代理人
主权项
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