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发明名称 COATING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH10277466(A) 申请公布日期 1998.10.20
申请号 JP19970086872 申请日期 1997.04.04
申请人 DAINIPPON SCREEN MFG CO LTD 发明人 OZAKI KAZUTO;KISE KAZUO;OKUNO EIJI
分类号 G03F7/16;B05C5/02;B05C11/105;H01L21/02;H05K3/00;(IPC1-7):B05C5/02;H01L21/00 主分类号 G03F7/16
代理机构 代理人
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