Apparat og fremgangsmåde til afgivelse af ikke-flygtige reagenser,申请号DK19930901010T-传众专利搜索

发明名称	Apparat og fremgangsmåde til afgivelse af ikke-flygtige reagenser
摘要
申请公布号	DK0616649(T3)	申请公布日期	1998.10.19
申请号	DK19930901010T	申请日期	1992.12.11
申请人	ADVANCED TECHNOLOGY MATERIALS, INC.;ADVANCED TECHNOLOGY MATERIALS, INC.	发明人	KIRLIN, PETER, S.;BINDER, ROBIN, L.;GARDINER, ROBIN, A.;VAN BUSKIRK, PETER;ZHANG, JIMING 23C HILLCREST APARTMENTS;STAUF, GREGORY;KIRLIN, PETER, S.;BINDER, ROBIN, L.;GARDINER, ROBIN, A.;VAN BUSKIRK, PETER;ZHANG, JIMING 23C HILLCREST APARTMENTS;STAUF, GREGORY
分类号	C23C16/44;C23C16/18;C23C16/40;C23C16/448;C23C16/455;H01L39/24;(IPC1-7):C23C16/00;B05D5/12	主分类号	C23C16/44
代理机构		代理人
主权项
地址