干燥装置以及干燥方法

摘要

本发明的目的是使IPA蒸汽的状态稳定,缓解甚至消除干燥不良现象。在设于处理槽(11)上方的开口部(22)两侧相对设置喷嘴(13)以及排气件(14)。处理槽(11)的侧壁随着从下方附近接近开口部(22)而向内侧圆滑弯曲。喷嘴(13)将氮气供给装置提供的氮气喷向排气件(14)的排气口,并形成覆盖开口部(22)的喷流(21)。由于处理槽(11)的侧壁弯曲,喷流(21)可有效发挥屏障的功能。所以,不再需要传统装置上必需的冷却蛇形管。因此,消除了因冷却蛇形管而引起的IPA蒸汽(5)状态的不稳定性。

主权项

1.一种干燥装置，该干燥装置通过储存并加热水溶性的溶解液(7)，使从上述溶解液中产生的蒸汽(5)在处理对象(3)表面凝结来对该处理对象表面进行干燥，其特征在于：在该干燥装置上，设有在上面的规定向上开口的开口部(22)的且可储存溶解液的容器状处理槽(11)、可加热储存在上述处理槽内的上述溶解液的加热器(10)、以及在上述开口部两侧相对设置的喷嘴(13)及排气设备(14)；而上述排气设备规定排气口的开口朝向上述喷嘴；上述喷嘴由于受气体供给的影响而朝向上述排气口，并且，可产生覆盖上述开口部的上述气体的喷流(21)；上述排气设备可将通过上述排气口吸进的上述气体排向外部；上述处理槽，设有随着从下方接近上述开口部而向内侧圆滑弯曲的侧壁。