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发明名称 COMPOSITE CONCENTRIC-GAP MAGNETIC LENS AND DEFLECTOR WITH CONICAL POLE PIECES
摘要
申请公布号 EP0870316(A1) 申请公布日期 1998.10.14
申请号 EP19970942507 申请日期 1997.09.16
申请人 ETEC SYSTEMS, INC. 发明人 VENEKLASEN, LEE, H.;DEVORE, WILLIAM, J.
分类号 H01J37/141;H01J37/147;(IPC1-7):H01J37/141 主分类号 H01J37/141
代理机构 代理人
主权项
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