发明名称 |
SCANNING PROBE MICROSCOPE |
摘要 |
|
申请公布号 |
JPH10274659(A) |
申请公布日期 |
1998.10.13 |
申请号 |
JP19970081095 |
申请日期 |
1997.03.31 |
申请人 |
SHIMADZU CORP |
发明人 |
NAKANISHI HIROAKI;NAKAMURA NAOHIRO |
分类号 |
G01B21/30;G01N37/00;G01Q20/02;G01Q60/24;(IPC1-7):G01N37/00 |
主分类号 |
G01B21/30 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|