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发明名称
OPTICAL COMPONENT OF POLARIZING MODULATION, AND ITS USE IN A POLARIMETER OR IN AN ELLIPSOMETER
摘要
申请公布号
EP0870180(A1)
申请公布日期
1998.10.14
申请号
EP19970910494
申请日期
1997.10.16
申请人
CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE (CNRS)
发明人
DREVILLON, BERNARD;COMPAIN, ERIC
分类号
G01J4/04;G01J4/00;G01N21/21;G02F1/03;(IPC1-7):G01J4/00
主分类号
G01J4/04
代理机构
代理人
主权项
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