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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE MANUFACTURING METHOD
摘要
申请公布号 JPH10275863(A) 申请公布日期 1998.10.13
申请号 JP19970080546 申请日期 1997.03.31
申请人 NEC CORP 发明人 TSUBOI TOKUJI
分类号 H01L27/092;H01L21/8238;(IPC1-7):H01L21/823 主分类号 H01L27/092
代理机构 代理人
主权项
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