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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH10275779(A) 申请公布日期 1998.10.13
申请号 JP19970077716 申请日期 1997.03.28
申请人 NEC CORP 发明人 HIROI MASAYUKI
分类号 H01L29/78;H01L21/265;(IPC1-7):H01L21/265 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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