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发明名称 PACKAGE
摘要
申请公布号 JPH10275825(A) 申请公布日期 1998.10.13
申请号 JP19970079420 申请日期 1997.03.31
申请人 HITACHI CHEM CO LTD 发明人 WATANABE ITSUO;TAKEMURA KENZO;KANEDA AIZO;TAGUCHI NORIYUKI;KIKUCHI NOBURU
分类号 H01L21/60;(IPC1-7):H01L21/60 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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