发明名称 INSULATOR-COMPOUND SEMICONDUCTOR INTERFACE STRUCTURE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH10275806(A) 申请公布日期 1998.10.13
申请号 JP19980067802 申请日期 1998.03.02
申请人 MOTOROLA INC 发明人 PASSLACK MATTHIAS;WANG JUN;ABROKWAH JONATHAN K;YU ZHIYI JIMMY
分类号 H01L29/78;H01L21/205;H01L21/28;H01L21/31;H01L21/316;H01L21/335;H01L29/51;H01L29/80;(IPC1-7):H01L21/316 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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