发明名称 |
INSULATOR-COMPOUND SEMICONDUCTOR INTERFACE STRUCTURE AND MANUFACTURE THEREOF |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH10275806(A) |
申请公布日期 |
1998.10.13 |
申请号 |
JP19980067802 |
申请日期 |
1998.03.02 |
申请人 |
MOTOROLA INC |
发明人 |
PASSLACK MATTHIAS;WANG JUN;ABROKWAH JONATHAN K;YU ZHIYI JIMMY |
分类号 |
H01L29/78;H01L21/205;H01L21/28;H01L21/31;H01L21/316;H01L21/335;H01L29/51;H01L29/80;(IPC1-7):H01L21/316 |
主分类号 |
H01L29/78 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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