发明名称
摘要
申请公布号 NL6616664(A) 申请公布日期 1967.05.31
申请号 NL19660016664 申请日期 1966.11.25
申请人 发明人
分类号 H01L21/00;H01L21/24;H01L29/92 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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