| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE AND SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH10275915(A) |
申请公布日期 |
1998.10.13 |
| 申请号 |
JP19970079658 |
申请日期 |
1997.03.31 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
WAKAHARA YOSHIFUMI;TAMAOKI YOICHI |
| 分类号 |
H01L21/8234;H01L21/336;H01L27/088;H01L29/786;(IPC1-7):H01L29/786;H01L21/823 |
主分类号 |
H01L21/8234 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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