| 发明名称 |
APPARATUS FOR PULLING SINGLE CRYSTAL |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH10273384(A) |
申请公布日期 |
1998.10.13 |
| 申请号 |
JP19970091391 |
申请日期 |
1997.03.27 |
| 申请人 |
SUPER SILICON KENKYUSHO:KK |
发明人 |
MATSUBARA JUNICHI |
| 分类号 |
C30B15/32;C30B29/06;H01L21/208;(IPC1-7):C30B15/32 |
主分类号 |
C30B15/32 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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