| 发明名称 |
EPITAXIAL GROWTH METHOD AND GROWTH OVEN |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH10275777(A) |
申请公布日期 |
1998.10.13 |
| 申请号 |
JP19970092758 |
申请日期 |
1997.03.28 |
| 申请人 |
SUPER SILICON KENKYUSHO:KK |
发明人 |
INOUE KAZUTOSHI;IMAI MASATO;MAYUZUMI MASANORI;NAKAHARA SHINJI |
| 分类号 |
C30B25/14;C23C16/44;C23C16/455;C23C16/46;C30B29/06;H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/205 |
主分类号 |
C30B25/14 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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