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发明名称 ION IMPLANTATION DEVICE
摘要
申请公布号 JPH10275586(A) 申请公布日期 1998.10.13
申请号 JP19970077204 申请日期 1997.03.28
申请人 NISSIN ELECTRIC CO LTD 发明人 KANATSUKI TERUAKI
分类号 C23C14/48;H01J37/317;H01L21/265;(IPC1-7):H01J37/317 主分类号 C23C14/48
代理机构 代理人
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