发明名称 ELECTRON MICROSCOPE DEVICE, AND SAMPLE IMAGE REPRODUCING METHOD USING ELECTRON MICROSCOPE
摘要
申请公布号 JPH10275580(A) 申请公布日期 1998.10.13
申请号 JP19970077863 申请日期 1997.03.28
申请人 UNIV OSAKA 发明人 SHIMIZU RYUICHI;ANDO TOSHIYUKI;KIMURA YOSHIHIDE
分类号 H01J37/22;H01J37/153;(IPC1-7):H01J37/153 主分类号 H01J37/22
代理机构 代理人
主权项
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