METHOD AND DEVICE FOR DUST REMOVAL FOR PLASMA VAPOR DEPOSITION AND ETCHING EQUIPMENT,申请号JP19970080202-传众专利搜索

发明名称	METHOD AND DEVICE FOR DUST REMOVAL FOR PLASMA VAPOR DEPOSITION AND ETCHING EQUIPMENT
摘要
申请公布号	JPH10273772(A)	申请公布日期	1998.10.13
申请号	JP19970080202	申请日期	1997.03.31
申请人	MITSUBISHI HEAVY IND LTD	发明人	UEDA NORIAKI
分类号	C23C14/00;C23C16/44;C23F4/00;H01L21/203;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):C23C14/00;H01L21/306	主分类号	C23C14/00
代理机构		代理人
主权项
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