发明名称 夹持装置
摘要 本发明之目的在于提供一种可极力抑止压接板部之变形及可防止压电元件之破坏之夹持装置者。其构成为:具有元件预压调整螺丝21,可经由压接板13部,对压电元件20施以预压;而前述压接板部13,系介以可伸缩之挠性部12A、12B,接续于元件预压调整螺丝21所螺合之螺合安装部11。
申请公布号 TW342527 申请公布日期 1998.10.11
申请号 TW084113991 申请日期 1995.12.26
申请人 新川股份有限公司 发明人 原田耕釽;鸟祽稔;饭山隆行
分类号 H01L21/60;H01L41/08 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人 林镒珠 台北巿长安东路二段一一二号九楼
主权项 1.一种夹持装置,其具备有:一对夹持臂,其上分别 安装 有一对夹持爪;压电元件,可使前述夹持爪开闭而 夹持工 作物;扩大机构,其可扩大前述压电元件之伸缩动 作;元 件预压调整螺丝,其可介由压接板部,对压电元件 施以预 压;其特征在于:前述压接板部,系透过可伸缩之挠 性部 ,接续于螺合有前述元件预压调整螺丝之安装部上 。2.依申请专利范围第1项所述之夹持装置,其特征 在于: 前述挠性部系为蛇腹(bellow)构造者。图式简单说 明:第 一图为本发明之夹持装置之一实施例之正视图。 第二图为 第一图之要部扩大图。第三图为施加电压与夹持 爪打开量 及夹持爪把持力之关系图。第四图为施加电压与 夹持爪打 开量及夹持爪动作速度之关系图。第五图为习知 之夹持装 置之正视图。第六图为揭示第五图之不适当情形 之要部扩 大图。
地址 日本