LARGE-SIZED SUBSTRATE INSPECTION DEVICE,申请号JP19970070288-传众专利搜索

发明名称	LARGE-SIZED SUBSTRATE INSPECTION DEVICE
摘要
申请公布号	JPH10268209(A)	申请公布日期	1998.10.09
申请号	JP19970070288	申请日期	1997.03.24
申请人	OLYMPUS OPTICAL CO LTD	发明人	FUJISAKI NOBUO
分类号	G01N1/00;B65G49/06;G02B21/00;G02B21/24;G02F1/1333;(IPC1-7):G02B21/24;G02F1/133	主分类号	G01N1/00
代理机构		代理人
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