| 发明名称 |
FERROELECTRIC THIN FILM ELEMENT, PIEZOELECTRIC ELEMENT AND MANUFACTURE THEREOF |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH10270766(A) |
申请公布日期 |
1998.10.09 |
| 申请号 |
JP19970071170 |
申请日期 |
1997.03.25 |
| 申请人 |
OSAKA GAS CO LTD |
发明人 |
NISHINO HITOSHI;NAKAOKA SHIYUNSETSU |
| 分类号 |
G01L1/16;C30B29/32;H01B3/12;H01L21/02;H01L21/314;H01L41/09;H01L41/187;(IPC1-7):H01L41/09 |
主分类号 |
G01L1/16 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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