METHOD AND APPARATUS FOR FORMING FILM FOR SEMICONDUCTOR DEVICE,申请号JP19970069494-传众专利搜索

发明名称	METHOD AND APPARATUS FOR FORMING FILM FOR SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号	JPH10270435(A)	申请公布日期	1998.10.09
申请号	JP19970069494	申请日期	1997.03.24
申请人	MITSUBISHI ELECTRIC CORP;RYODEN SEMICONDUCTOR SYST ENG KK	发明人	NISHIMURA TSUNEYUKI;SHO YASUSHI;AKAI HIROYUKI;UTATSU TAKASHIGE;SHOJI KEITA
分类号	H01L21/31;H01L21/316;(IPC1-7):H01L21/31	主分类号	H01L21/31
代理机构		代理人
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