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发明名称 METHOD AND DEVICE FOR ECR PLASMA ETCHING
摘要
申请公布号 JPH10270425(A) 申请公布日期 1998.10.09
申请号 JP19970075255 申请日期 1997.03.27
申请人 NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT> 发明人 TAKAHASHI CHIHARU;JIN YOSHITO;ONO TOSHIRO;NISHIMURA KAZUMI;MATSUO SEITARO
分类号 H05H1/46;C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 H05H1/46
代理机构 代理人
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