发明名称 |
METHOD AND APPARATUS FOR PLANARIZING WORKPIECE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH10270412(A) |
申请公布日期 |
1998.10.09 |
申请号 |
JP19980064938 |
申请日期 |
1998.03.16 |
申请人 |
INTERNATL BUSINESS MACH CORP <IBM> |
发明人 |
SAIPRYAN EMEKA UZOO;JAMES MACKAIL EDWIN HARPER |
分类号 |
H01L21/304;B24B37/04;B24B49/04;B24B49/10;(IPC1-7):H01L21/304 |
主分类号 |
H01L21/304 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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