发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR PLANARIZING WORKPIECE
摘要
申请公布号 JPH10270412(A) 申请公布日期 1998.10.09
申请号 JP19980064938 申请日期 1998.03.16
申请人 INTERNATL BUSINESS MACH CORP <IBM> 发明人 SAIPRYAN EMEKA UZOO;JAMES MACKAIL EDWIN HARPER
分类号 H01L21/304;B24B37/04;B24B49/04;B24B49/10;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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