发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH10270578(A) 申请公布日期 1998.10.09
申请号 JP19970076280 申请日期 1997.03.27
申请人 SEIKO INSTR INC 发明人 WATANABE HITOMI
分类号 H01L21/02;H01L21/8247;H01L27/06;H01L27/105;H01L27/115;H01L29/78;H01L29/788;H01L29/792;(IPC1-7):H01L21/824 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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