| 发明名称 |
PINHOLE INSPECTING METHOD OF INSULATIVE THIN FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH10267884(A) |
申请公布日期 |
1998.10.09 |
| 申请号 |
JP19970074981 |
申请日期 |
1997.03.27 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
YAMADA RENICHI;TAKEDA KAZUO;MATSUDA YASUSHI;OKURA OSAMU |
| 分类号 |
G01N27/26;G01N27/20;H01L21/66;(IPC1-7):G01N27/26 |
主分类号 |
G01N27/26 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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