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发明名称
SCANNING TYPE PROBE MICROSCOPE
摘要
申请公布号
JPH10267940(A)
申请公布日期
1998.10.09
申请号
JP19970073292
申请日期
1997.03.26
申请人
SHIMADZU CORP
发明人
YANO AYUMI
分类号
G01B21/30;G01N37/00;G01Q30/04;G01Q90/00;(IPC1-7):G01N37/00
主分类号
G01B21/30
代理机构
代理人
主权项
地址
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