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发明名称 ACCELERATION SENSOR
摘要
申请公布号 JPH10267960(A) 申请公布日期 1998.10.09
申请号 JP19970075503 申请日期 1997.03.27
申请人 NIKON CORP 发明人 NAKAMURA HAJIME
分类号 G01P15/12;H01L29/84;(IPC1-7):G01P15/12 主分类号 G01P15/12
代理机构 代理人
主权项
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