| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH10270416(A) |
申请公布日期 |
1998.10.09 |
| 申请号 |
JP19970068341 |
申请日期 |
1997.03.21 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRON CORP |
发明人 |
SASAKI TOMOYUKI;HISAKURE SHIYUNSUKE |
| 分类号 |
C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/3213;(IPC1-7):H01L21/306;H01L21/321 |
主分类号 |
C23F4/00 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
