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经营范围
发明名称
ECR ION SOURCE
摘要
申请公布号
JPH10269958(A)
申请公布日期
1998.10.09
申请号
JP19970095059
申请日期
1997.03.27
申请人
NISSIN ELECTRIC CO LTD
发明人
HIKAWA KAZUNORI;TANJIYOU MASAYASU
分类号
H01J27/18;H01J37/08;(IPC1-7):H01J27/18
主分类号
H01J27/18
代理机构
代理人
主权项
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