发明名称 ROTARY STAGE
摘要
申请公布号 JPH10271756(A) 申请公布日期 1998.10.09
申请号 JP19970078566 申请日期 1997.03.28
申请人 TAMAGAWA SEIKI CO LTD 发明人 IWASAKI TOKIO
分类号 B23Q16/02;B23Q1/00;B23Q1/52;G05D3/00;G05D3/12;H02K7/14;(IPC1-7):H02K7/14 主分类号 B23Q16/02
代理机构 代理人
主权项
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