发明名称 MANUFACTURE OF MOS TRANSISTOR
摘要
申请公布号 JPH10270692(A) 申请公布日期 1998.10.09
申请号 JP19970091350 申请日期 1997.03.27
申请人 NITTETSU SEMICONDUCTOR KK 发明人 TOMIOKA YUGO
分类号 H01L21/28;H01L21/316;H01L21/336;H01L21/76;H01L29/78;(IPC1-7):H01L29/78 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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