发明名称 WATER CONTENT PRODUCING REACTOR
摘要
申请公布号 JPH10270437(A) 申请公布日期 1998.10.09
申请号 JP19970074130 申请日期 1997.03.26
申请人 OMI TADAHIRO;FUJIKIN:KK;HITACHI LTD 发明人 OMI TADAHIRO;KAWADA KOJI;TANABE YOSHIKAZU;IKEDA SHINICHI;MORIMOTO AKIHIRO;MINAMI YUKIO
分类号 H01L21/31;C01B5/00;(IPC1-7):H01L21/31 主分类号 H01L21/31
代理机构 代理人
主权项
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