| 发明名称 |
FIELD-EFFECT TRANSISTOR AND MANUFACTURE THEREOF, SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF AND LOGIC CIRCUIT CONTAINING SEMICONDUCTOR DEVICE THEREOF AND SEMICONDUCTOR SUBSTRATE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH10270685(A) |
申请公布日期 |
1998.10.09 |
| 申请号 |
JP19970074746 |
申请日期 |
1997.03.27 |
| 申请人 |
SONY CORP |
发明人 |
NOGUCHI TAKASHI;SONEDA MITSUO |
| 分类号 |
H01L29/78;H01L21/8238;H01L27/092;(IPC1-7):H01L29/78;H01L21/823 |
主分类号 |
H01L29/78 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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