| 发明名称 |
POSITION MEASURING INSTRUMENT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH10267614(A) |
申请公布日期 |
1998.10.09 |
| 申请号 |
JP19970068670 |
申请日期 |
1997.03.21 |
| 申请人 |
TOPCON CORP;TOSHIBA CORP |
发明人 |
WATANABE SHINYA;SUZUKI HITOSHI;ABE KAZUO;SAITO SUSUMU;TOJO TORU;HIRANO RYOICHI |
| 分类号 |
G01D5/38;G01B11/00;G03F9/00;H01L21/027;(IPC1-7):G01B11/00 |
主分类号 |
G01D5/38 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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