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经营范围
发明名称
CLEANING DEVICE
摘要
申请公布号
JPH10270409(A)
申请公布日期
1998.10.09
申请号
JP19970075038
申请日期
1997.03.27
申请人
NEC CORP
发明人
YAMAZAKI SHINYA
分类号
B08B11/02;B08B3/08;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304
主分类号
B08B11/02
代理机构
代理人
主权项
地址
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