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发明名称
ROTARY STAGE
摘要
申请公布号
JPH10271757(A)
申请公布日期
1998.10.09
申请号
JP19970078567
申请日期
1997.03.28
申请人
TAMAGAWA SEIKI CO LTD
发明人
IWASAKI TOKIO
分类号
B23Q16/02;B23Q1/00;B23Q1/52;G05D3/00;G05D3/12;H02K7/14;(IPC1-7):H02K7/14
主分类号
B23Q16/02
代理机构
代理人
主权项
地址
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