发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH10270568(A) 申请公布日期 1998.10.09
申请号 JP19970071645 申请日期 1997.03.25
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 SHIRATAKE SHIGERU
分类号 H01L21/8238;H01L21/8234;H01L27/092;H01L27/105;(IPC1-7):H01L21/823 主分类号 H01L21/8238
代理机构 代理人
主权项
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