CHARGED PARTICLE BEAM DEVICE,申请号JP19970072919-传众专利搜索

发明名称	CHARGED PARTICLE BEAM DEVICE
摘要
申请公布号	JPH10270321(A)	申请公布日期	1998.10.09
申请号	JP19970072919	申请日期	1997.03.26
申请人	JEOL LTD	发明人	YAMADA KENJI;KOMAGATA TADASHI
分类号	H01J37/305;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027	主分类号	H01J37/305
代理机构		代理人
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