发明名称 OPTICAL DEVICE AND PARTICLE BEAM DEVICE
摘要
申请公布号 JPH10268096(A) 申请公布日期 1998.10.09
申请号 JP19970300741 申请日期 1997.10.31
申请人 ACT ADVANCED CIRCUIT TESTING G FUER TESTSYSTEMENTWICKLUNG MBH 发明人 FROSIEN JUERGEN DR;LANIO STEFAN DR;SCHMITT REINHOLD;SCHOENECKER GERALD DR
分类号 G21K1/087;H01J37/12;(IPC1-7):G21K1/087 主分类号 G21K1/087
代理机构 代理人
主权项
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