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发明名称 HALBLEITER HERSTELLUNGSFLÜSSIGKEITSSPRITZSYSTEM MIT ZUSATZMISCHUNG
摘要
申请公布号 DE69411026(T2) 申请公布日期 1998.10.08
申请号 DE19946011026T 申请日期 1994.07.15
申请人 SEMITOOL, INC., KALISPELL, MONT., US 发明人 OWCZARZ, ALEKSANDER, KALISPELL, MT 59901, US
分类号 B01F3/08;B01F5/04;B01F15/00;(IPC1-7):B01F3/08 主分类号 B01F3/08
代理机构 代理人
主权项
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