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发明名称 Sondenhalter für Niederstrom-Messungen
摘要
申请公布号 DE29809568(U1) 申请公布日期 1998.10.08
申请号 DE19982009568U 申请日期 1998.05.27
申请人 CASCADE MICROTECH, INC., BEAVERTON, OREG., US 发明人
分类号 G01R1/073;G01R1/067;G01R19/00;G01R31/28;G01R35/00;H01L21/66;H01R11/18;(IPC1-7):G01R31/28;G01R1/06 主分类号 G01R1/073
代理机构 代理人
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