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发明名称
Sensor zur Messung physikalischer und / oder chemischer Größen und Verfahren zur Herstellung eines Sensors
摘要
申请公布号
DE19713719(A1)
申请公布日期
1998.10.08
申请号
DE19971013719
申请日期
1997.04.03
申请人
KUEHN, HANS R., DIPL.-ING., 38678 CLAUSTHAL-ZELLERFELD, DE
发明人
分类号
G01B7/16;G01D5/18;G01D21/00;G01N27/04;G01N27/12;H01L47/00;(IPC1-7):G01D21/00
主分类号
G01B7/16
代理机构
代理人
主权项
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