发明名称
摘要
申请公布号 JP2809196(B2) 申请公布日期 1998.10.08
申请号 JP19960137144 申请日期 1996.05.30
申请人 NIPPON DENKI KK 发明人 MIKAGI IKU
分类号 H01L21/28;H01L21/3205;H01L23/52;(IPC1-7):H01L21/320 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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