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发明名称
摘要
申请公布号
JP2809193(B2)
申请公布日期
1998.10.08
申请号
JP19960111393
申请日期
1996.05.02
申请人
NIPPON DENKI KK
发明人
ENDO MAMORU
分类号
H01L21/28;H01L21/3205;H01L23/52;(IPC1-7):H01L21/320
主分类号
H01L21/28
代理机构
代理人
主权项
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