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发明名称
摘要
申请公布号 JP2807936(B2) 申请公布日期 1998.10.08
申请号 JP19910254306 申请日期 1991.09.06
申请人 NIPPON DENSHIN DENWA KK 发明人 HARADA KATSUYUKI;MATSUO SEITARO;TAKEUCHI YOSHINOBU;KOMATSU KAZUHIKO;TAMECHIKA EMI;MIMURA YOSHIAKI
分类号 H01L21/30;G03F7/20;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 H01L21/30
代理机构 代理人
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